특징
1. XYZ축 로봇 전자동 이동 시스템
2. 자동 저항 범위 선택
3. 크기(직각형) : 600mm × 600mm (사용자 요청시 크기 변경 가능)
4. 운영 소프트웨어에 의한 완벽한 원격 제어
5. 데이터 분석 - 균일도, 평균, 최대, 최소, 2D/3D 매핑, 캡쳐 등 지원
6. 시료 : 박막(ito, izo, lcd, touch panel, solar cell...)
7. 시편 진공홀더 & 에어블로어 언로딩
8. 사이즈 : 1120 (가로) X 1120 (세로) X 1800 (높이)
9. 무게 : 350kg